当社では水処理機器製造に於ける豊富な経験と実績、傑出したアイデアを活用し洗浄装置の開発を行なっております。「洗浄装置」と言っても各お客様の用途により、多種多様な装置が存在します。被洗浄物の種類や材質、ならびに要求される洗浄精度などを考慮し、お客様の用途にあったものをご提案させて頂きます。
1. 各種超音波洗浄装置:単体~15槽式(手動・自動)
搬送方式:バッチ式(専用治具・ケース)・枚葉式
| 品名 | 被洗浄物 | 使用液 | 処理方法 | 超音波 | 乾燥方式 |
|---|---|---|---|---|---|
| レンズ関係 | カメラレンズ メガネレンズ CCDカメラレンズ |
洗剤・市水・純水・有機溶剤・薬液(酸・アルカリ) | 還流方式・噴流方式 温純水洗浄・DIP |
26~40KHz (揺動) |
温純水引上げ IR乾燥・温風乾燥 IPA/VP |
| 液晶関係 | 液晶ガラス STNガラス サブガラス |
洗剤・市水・純水 | ロールブラシ・ディスクブラシ・シャワー・UV処理 | 750~950KHz (流水式) |
エアーナイフ |
| 機械工具 | エンドミル・チップ ハイス・ドリル等 |
各種洗剤・市水・純水 | シャワー・油水分離 温純水洗浄・DIP |
26~100KHz (揺動) |
エアーブロー 温風乾燥 |
| 医療器具 | オペ器具・カテーテル | 洗剤・市水・純水・機能水 | シャワー・高圧洗浄 温純水洗浄・DIP |
26~40KHz (揺動) |
エアーブロー 温風乾燥 |
| 各種セル | 携帯電話用セル 基盤 |
洗剤・市水・純水・有機溶剤 | 温純水洗浄・DIP | 26~40KHz (揺動) |
エアーブロー 温風乾燥・吸引乾燥 真空乾燥・IPA/VP |
| その他 | 専用カセット・治具・ベアリング(球・内/外輪)・シャドーマスク・液晶用ガラス | 洗剤・市水・純水・炭化水素系洗剤 | シャワー・叩き揺動ジェット洗浄・DIP | 26~40KHz (揺動) |
エアーブロー 温風乾燥・吸引乾燥 真空乾燥・スピン乾燥 IPA/VP |
2. 剥離装置(Lift-off・ストリップドラフト)
| 品名 | 被洗浄物 | 使用液 | 処理方法 | 超音波 | 乾燥方式 |
|---|---|---|---|---|---|
| HDD | ウェーハ | 純水・NMP・IPA・その他有機溶剤 | DIP・QDR・高圧JET・SPIN | 26~950KHz (揺動) |
IPA/VP・SPIN |
| サーマルヘッド | プリンターヘッド | 純水・NMP・IPA | DIP | 26~40KHz (揺動) |
IPA/VP |
3. スクラブ洗浄装置・ブラシ洗浄装置
搬送方式:ロボット搬送
| 品名 | 被洗浄物 | 使用液 | 処理方法 | 超音波 | 乾燥方式 |
|---|---|---|---|---|---|
| 液晶 | ガラス | 洗剤・純水・CDR | ロールブラシ・ディスクブラシ | 1MHz | UV・UF・エアーナイフ |
| HDD | ウェーハ | 洗剤・有機溶剤・純水・CDR・N2 | スクラブブラシ・DIP | 26~950KHz | SPI・IPA/VP |
4. エッチング装置
搬送方式:バッチ式(専用治具・ケース)
| 品名 | 被洗浄物 | 使用液 | 処理方法 | 超音波 | 乾燥方式 |
|---|---|---|---|---|---|
| HDD | ウェーハ | 水酸化ナトリウム・アンモニア・CDR・N2 | 噴流・バブリング・シャワー | 40~70KHz (揺動) |
温風乾燥・吸引乾燥 |
| 太陽電池 | ウェーハ (シリコン・アモルファス) |
水酸化ナトリウム・珪酸ナトリウム・N2・過酸化水素・フッ酸 | 噴流・バブリング・シャワー | 40~70KHz (揺動) |
温風乾燥・吸引乾燥 |
| CCD | レンズ | 混酸・純水等 | バブリング・置換 | - | - |
| カメラボディ | Mg ボディ | 化成処理剤・純水・フッ酸 | 噴流・バブリング・シャワー | 26~40KHz (揺動) |
エアーブロー 温風乾燥・オーブン |